基于炭黑吸收層的熱釋電紅外探測器及其制造方法

本發明實施例公開了一種基于炭黑吸收層的熱釋電紅外探測器及其制造方法，包括;制備熱釋電晶體襯底;在熱釋電晶體襯底的一側上沉積鎳鉻合金層形成上電極;在上電極上形成炭黑紅外吸收層;在熱釋電晶體襯底的與上電極相反的側上沉積鎳鉻合金層形成下電極;將下電極金屬鍵合到高熱阻抗基底上;將炭黑紅外吸收層的表面加工成納米形貌結構，形成紅外敏感吸收層。本發明的實施例中，鎳鉻合金層和炭黑紅外吸收層的多層濾膜結構作為該熱釋電紅外探測器的熱敏感層，具有更好的表面致密性、高的吸收系數和較小的熱損失，能夠獲取高性能熱響應。